机器人的进化过程可以追溯到上世纪60年代，经历了从最初的工业机器人到智能机器人的转变。以下是机器人进化过程的一些关键阶段：
工业机器人出现：1962年，美国AMF公司生产出与Unimate一样的真正商业化的工业机器人“VERSTRAN”，并出口到世界各国，这标志着工业机器人的诞生。
智能机器人研发：1968年，美国斯坦福研究所研发成功带有视觉传感器，可根据人的指令发现并抓取积木的机器人Shakey，这是世界上第一台智能机器人，它拉开了第三代机器人研发的序幕。
双脚走路的机器人：1969年，日本早稻田大学“仿人机器人之父”加藤一郎实验室研发出第一台以双脚走路的机器人。
机器人与小型计算机合作：1973年，美国Cincinnati Milacron公司研发了机器人T3，这是世界上第一次机器人和小型计算机携手合作。
工业机器人技术成熟：1978年，美国Unimation公司推出至今仍然工作在工厂第一线的通用工业机器人PUMA，它的诞生标志着工业机器人技术已经完全成熟。
医用机器人出现：1984年，英格伯格研发了能在医院里为病人送饭、送药、送邮件的机器人Helpmate。
机器人进入个人世界：1998年，丹麦乐高公司推出机器人（Mind-storms）套件，让机器人制造变得跟搭积木一样，相对简单又能任意拼装，使机器人开始走入个人世界。