1 是真的。

2 光刻机是半导体制造中不可或缺的设备。

哈尔滨工业大学拥有自主研发生产的光刻机，可以为半导体产业提供技术支持和需求解决。

3 除哈尔滨工业大学外，国内外很多大型半导体企业也拥有自己研发生产的光刻机，例如ASML、Nikon等企业，它们的光刻机被广泛应用于半导体领域。