扩散硅与MEMS在多个方面存在显著的差异。

首先，扩散硅是一种特殊的硅材料，它含有杂质并具有导电性。这种材料通常是通过将杂质扩散到单晶硅表面而制成的，因此也被称为“Diffused Silicon”。扩散硅在电子行业中有着广泛的应用，特别是在制造硅片等传统电子元件方面，如二极管、场效应管等。由于其制造成本相对较低，扩散硅在光电器件如太阳能电池和LED等领域也得到了广泛应用。

而MEMS，即微电子机械系统，是一种新兴的技术领域。它将微电子技术和机械工程相结合，制造出可以在微米级别下操作的微小机械元件。这些元件通常包括集成电路、传感器、执行机构等，具有微型化、高灵敏度、低功耗和高稳定性等特点。因此，MEMS在精密仪器、通信系统、生物医药等多个领域都发挥着重要作用。

综上所述，扩散硅主要是一种材料，而MEMS则是一种基于特定材料和技术制造出来的微型机械系统，两者在性质和应用上存在着明显的不同。